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多功能传感器(multifunctional transducer)一般是指用一个传感器能同时感受两种或两种以上的被测量,并转换成可以接收和处理的信号的装置。例如。采用特殊陶瓷材料,就能制出可以同时检测温度和湿度的多功能传感器。又如在一个硅膜片上,在预先设计的不同位置处扩散上电阻图案,就可以同时测出差压、静压和温度。
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多功能传感器是传感器技术中的一个新的发展方向。现在一般的单一传感器只能测量一种物理量或化学量。在工业生产、航空航天等领域,为了准确全面地认识对象或环境,往往需要同时测量多个物理量、化学量,因此希望尽可能把几个敏感元件制作在一起,使一个传感器能够同时测量几个参数,具有多种功能。例如,使用特殊的陶瓷把温度和湿度敏感元件集成在一起,做成温湿度传感器;把检测钠离子和钾离子的敏感元件集成在一个基片上,制成测量血液中离子成分的传感器;将检测几种不同气体的敏感元件用厚膜制造工艺作在一个基片上,制成能够检测H2S、C8H18、NH3等多四种气体的多功能传感器;在同一硅片上制作应变计和温度敏感元件,制成同时测量压力和温度的多功能传感器,该传感器还可以实现温度补偿。
多功能传感器和微处理机、信号处理电路结合起来,就组成多功能智能传感器。